化学性传感器是各类传感器中开发比较晚，但发展却是最快的一种，本文尾气测量湿度传感器就是化学传感器的一种，除此之外还有PH值，离子气体，烟雾也都发展出传感器，在目前此类传感器应用十分广泛，且渐渐的都朝具有优良耐环境性、寿命长、价格低廉的方向发展。

尾气测量湿度传感器为测定相对湿度、绝对湿度或是测定露点的传感器，目前市面上湿度传感器的种类很多，而其应用范围也都不一样，概略以其使用的温湿度范围来分，一般湿度传感器用以检出湿度或结露等的方法主要有以下四种：

（1）测量由于湿气敏感材料的吸湿，解吸或冷凝而引起的电阻抗或电容的变化。

（2）测量由于湿度变化导致的气体导热系数的差异。

（3）测量由于湿度变化或冷凝而导致的晶体振动器的共振频率变化。

（4）测量由穿过水滴的湿度α射线的变化引起的衰减，光吸收和反射。

上述所采用的测定方法必须配合测试环境的不同来做选择。而目前市面上采用最多的测定方式则是第一种。因为其测定方式、信号舍取方式都相当简便，且价格便宜，以其制造材料的不同来区分的话，大致可以分为下列六类：

（1）LiCl 之类的电解质。

（2）半导体材料，例如硒和锗。

（3）MgCr2O4，ZnCr2O4，TiO2，SnO2和其他金属氧化物的熔体。

（4）多孔金属氧化物膜，例如Al2O3。

（5）通过将导电粉末分散在诸如尼龙的聚合物材料中而形成的材料。

（6）有机或无机聚合物电解质膜。